双螺旋纳米薄膜匀气盘
应用于用于14nm及以下技术节点High-K金属ALD机台的原子层沉积工艺。
双螺旋通道设计实现多重反应气体流动路径隔绝。
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产品特点
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相关方案
产品特点
高精度的气体流量一致性
(STD<20mTorr)
双螺旋通道精密加工、微孔五轴圆弧面加工微孔自动化量测、高洁净清洗
特殊氧化铝ALD涂层喷涂
5-500nm厚度
国内首家具备此种高致密零孔隙涂层的量产能力
高洁净度
Particle@0.2um<15ea/cm2
