加热内腔式盘

应用于干法蚀刻复杂气路系列的FNT系列机台用于逻辑,存储高端工艺的低纳米深孔洞原子级精确Etch的刻蚀机台128层或以上的NAND闪存工艺产线( 14纳米或以下)

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产品特点

高洁净度

高洁净度

(Particle@0.2um<15ea/cm2)

多层结构内腔清洗技术

0~300℃

0~300℃

快速升温,精准控温,稳定性高

加热丝装配技术,国内领先的多层钎焊和电子束焊接技术

小孔的孔径一致性极高

小孔的孔径一致性极高

(STD<1.8um)

高精度的焊后平面/平行度和轮廓度机加能力

质量管理

富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。

质量管理

服务热线

024-31692130

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