高纯气体管路

半导体行业超高纯气体传输专用管道,使用HP&UHP等级316L材料在class 5&6等级的洁净间的进行加工制造。具备超高的高真空度、洁净度及耐腐蚀性要求。

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高纯气体管路
高纯气体管路
  • 产品特点
  • 质量管理

产品特点

高真空度

高真空度

产品使用VCR&K1S类型密封面结构设计,

生产过程中对密封面及焊接位置根据客户标准及行业标准要求100%氦测,确保产品的密封性,是产品满足高真空度的使用要求。

高洁净

高洁净

产品原材料内表面EP处理,粗糙度控制在Ra0.25um以下

在class 5等级的洁净间进行清洗,焊接、测试和包装,清洗用水水源电阻不低于18MΩ

高耐腐蚀性

高耐腐蚀性

所有原材料使用HP&UHP等级316L材料并进行内表面EP处理

通过降低材料表面粗糙度值,减少管道内部微量水份残留,提升整体零件的耐腐蚀性

质量管理

富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。

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